新竹科学园区的一日纪实
新竹科学园区的一日纪实
Tu Xiang Zheng (涂向真)
2002年秋天，我如同候鸟般，再次迁徙，这次从美国旧金山飞回了我每年定期工作的地方台湾新竹。我住在新竹科学园区附近的华清公寓顶层。清晨，我总是早早醒来，躺在床上，透过落地玻璃窗凝视东方的天际。夜色尚未散尽，天空呈现出一片深邃的蓝，仿佛笼罩着一层薄雾。渐渐地，那蓝色变得明亮，先是宝蓝，然后变成淡蓝。接着，玫瑰色的晨光悄然洒满天边，愈发浓烈，直到一轮灿烂的金色太阳从连绵起伏的山峦间露出。它高挂于天际，释放出耀眼的光芒。
我起身，走到宽敞的阳台上，迎着朝霞，沐浴在初升的阳光中，舒展筋骨，深吸一口清晨的空气。精神振奋，我准备好迎接新的一天，这忙碌而充实的一天。
我住的公寓在光复路一段，离我工作的公司很近，步行上班约25分钟。从公寓出来东行，穿过金山街和金山26街，爬上一个小山坡，就进了科学园内的力行路。山坡旁有一座小庙，庙内摆放着亡者的灵牌。据说，修建科学园时拆掉了很多坟墓，有主的都由后人迁走了，没主的就都葬入一个大墓，墓上建庙，供后人祭奠。我经过此地时，会合掌朝西方拜三拜，祈求佛菩萨保佑这些孤魂野鬼早日安息。
我沿着力行路的人行道朝南环行，道旁的杨柳整齐有序地排列着，那细长，柔软的枝条在晨风的吹拂下，款款摇摆，姿态是那么轻快，优美。路中的花坛里开满了菊花，山茶花，石斛兰，月季，百合花，灿烂得像是撒满了宝石，铺上了锦缎。树丛中不时有群鸟飞过，伴随着一阵叽叽喳喳的叫声。还有那布谷鸟的”咕咕”声，好像是特意为我演奏的晨曲，陪伴我一路行进。
我沿路经过的公司有华帮，中强，联电，旺宏，茂德，台积电，友达等。每家公司的门面都像是高科技的展台，不仅建筑物雄伟壮观，而且装饰物也富有个性，充满时代气息，让人一目了然其高科技元素的内涵，又赏心悦目其现代科技的奇异色彩。这些公司都是台湾的明星企业，其中多数是集成电路公司，它们是园区的第一大产业，园区每年总产值的60%以上来自于这些公司。
我绕过茂德，再绕着公园前行，就可以看到新磊科技公司的大楼。顺着光磊科技公司的大楼朝西望去，就是欣邦，晶元，无鼎等公司，这都是清一色的光电公司。
进了公司的前厅，宽敞而明亮，整洁而雅致，让人产生一种大气而舒畅之感。前厅的正中，立着一座供奉财神爷的神龛，神龛雕刻精美，装饰考究。按照公司惯例，公司高管都要给财神爷烧香，方可乘电梯进入办公室。我是公司顾问，实际上是个虚职，但在礼仪上却享受高管的待遇。所谓“入其俗，从其令”，更何况，拜财神爷，沾沾财气，何乐而不为？
我生长在大陆，从小受无神论教育，对烧香拜佛不以为然，所以我第一次握香的姿势就闹了笑话。正确的握香姿势是，男士的左手在上，右手在下，而我却是反过来，成了女士的姿势。多亏公司的财务主管发现了，给我纠正过来。
我的办公桌放在大楼九层的东头，拉开窗帘，展现在眼前的就是一幅自然生成的美丽画卷。近处靠右，是台积电七厂楼顶运动场，公司日托的孩子们在老师的保护下滑旱冰。远处靠左，是重重叠叠，云雾缭绕的山峦，一直延伸到依稀可见的中央山脉。
我工作的公司是新成立的公司，主要由光磊公司投资，并在光磊公司的二期厂房内运作。公司的管理层有三位博士，其中二位是美国博士，另一位是德国博士。工程技术人员都是新招聘的，都有大专以上学历。其中有博士三位，一位来自新加坡南洋理工大学，一位来自台北大学，另一位来自台湾交通大学。其中硕士至少有五位，除了一位来自德国以外，其他都是台湾自己培养的。
上午九点整，我出席公司的学术研讨会，由我主讲，讲的题目是“玻璃中的钠离子引起阳极键合电容加速度传感器蜕化”。会议在一间可容纳20多人的会议室里举行，出席会议的都是工程师。我讲述的內容已写成英文的Microsoft PowerPoint文件，由投映仪投放到屏幕上，我用激光笔指着屏幕上的图片逐幅讲解。公司的学术会议习惯以英语为交流语言，但提问和讨论可以用纯中文，也可以用英文夹中文。我讲了近一个小时，然后让大家提问，并展开讨论。提问很踊跃，讨论也很热烈。这种局面让我很感动，也很受鼓舞。这正是我所期盼的，我多么希望工程师们，个个都是勤奋好学，勇于进取的有识之士，都能在MEMS产业化事业中找到自已的位置。
阳极键合电容加速度传感器蜕化问题，已经困扰了工程师们好几个月。MEMS生产线已经运转半年多，经过工程师们共同努力，化了三个月的时间，成功地复制出福特微电子公司转让的，阳极键合电容加速度传感器。但传感器的零点电容，随着其工作时间和工作温度而变化，直到超过合格产品所规定的要求，从而使传感器成为废品。为寻找传感器失效的原因，工程师们每个星期都要开会，每次都是众说纷纭，没有定论。
公司的主管Shi博士找到我，要我出谋划策。我早就说过，玻璃中的纳离子是罪魁祸首，只是没有系统阐述我的这个观点。福特微电子公司的传感器要求采用阳极键合制造技术，这就必然要用到含用大量钠离子的玻璃。这样制作出的传感器，在外加工作电压的作用下，玻璃中的纳离子会向传感器的负电极方向移动，在电极界面形成自建电场，造成传感器的零点电容持续移动。
我说出了传感器失效的原因，但工程师并不能马上接收。他们制作传感器是按照福特微电子公司的技术资料，资料中并没有提到玻璃中的钠离子会影响传感器的性能。
显然，摆在我面前的任务，不是“证真”，而是“证伪”，证明福特微电子公司是错的。其实，福特微电子公司的传感器被它的母公司所否定，就是因为它的传感器存在致命的弱点。这种弱点是设计的先天不足，无法后天补救。正因为如此，我建议工程师们不要把福特微电子公司的传感器当作产品开发，只是用来调试MEMS生产线。我还极力说服他们，采用我设计的加速度传感器，可以一劳永逸解决器件失效的问题。
我知道要最终说服工程师们，我必需做更多的细致深入工作，建立更完整的的理论系统，收集更多的实验数据，这就是为什么我要化一个多月，写“玻璃中的钠离子引起阳极键合电容加速度传感器蜕化”的论文。在这篇论文中，我参照CMOS电路钠离子污染引起阈值电压漂移的理论，建立起阳极键合电容加速度传感器因钠离子作用引起零电容漂移的物理模型，并用这个模型对实验结果进行详尽解释。
在我作报告以后的几天里，几乎每天都有工程师找我讨论，从讨论的情况看来，同意我的观点的工程师是越来越多。我也提出了作为权宜之计的解决方案，在玻璃片上沉积一层能阻止钠离子移动的介质薄膜，将金属电极做在介质薄膜上。用这种办法做了几次实验，有一定的效果。至此，这个拖延很久的棘手问题总算尘埃落定了。
公司只提供午餐，晚餐要自已解决。我住的公寓附近就是繁华的商业街，各种名菜，各色小吃，应有尽有，这正是我大饱口福的难得机会，岂能轻易放过。我从公寓前的小路，进入一个小公园，顺着公园中的一座“之”字形木桥，登上一个小坡，就上了金山北三街。这是一条颇有名气的商业街。街道两旁的房子，建造得颇具特色。小巧玲珑的平房，砖木结构的楼房，飞檐挑角，镂花窗棂，别具匠心。店面呈圆、方、菱、扇等形状，各具特色。招牌也很讲究，彩灯装饰，美观大方。我进了一家泰国餐馆，老板娘热忱地和我打招呼，她认识我，我是这里的常客。这是一家自助餐，别人收费是140元新台币，而我收费是120元新台币，因为这家餐馆与新磊公司有优惠协定。吃的是自选的四个菜，有牛肉，鱼，豆腐，芹菜，还有沙拉，饮料等，菜量不多，但一个人吃，还是很丰盛的。
我从餐馆出来，顺着金山北三街往前走，穿过介寿路，绕过实验小学，就是园区的静心湖公园，这是我经常光顾的地方。我漫步在具有浓厚中国风味的回廊中，欣赏贯穿其间，观赏着造型各异的装饰门。随着走上九曲桥，直达湖心亭。我伫立在亭中，正是傍晚时分，残阳如血，晚霞似火。湖水沐浴在一片红色的光波里，碎金斑驳，耀眼迷心，让人仿佛置身于画卷之中，目不暇接，美不胜收。我找一个椅子坐下，静听湖边传来的蛙声，多么美妙的歌喉！好像有一股神力，帮助我消除一天的疲劳。