中国EUV原型机大突破？惨遭阿斯麦CEO打脸

中国传出突破技术门槛打造出EUV原型机，被视为中国版“曼哈顿计划”，引起业界关注，还有人说可能动摇荷兰半导体设备巨擘ASML的地位。ASML 执行长福克（Christophe Fouquet）接受荷媒专访直言，“我们看不到中国已接近这一水准的任何证据”，并称“中国已8年没有 EUV 的存取权，他们落后8代之多。”

有关中国传出自行打造国产EUV出现重大进展一事，福克接受荷兰《电讯报》 （De Telegraaf）专访指出，中国已经有8年无法取得 EUV 存取权，因此在制程世代上落后了8代。中国主要将重心放在主流芯片上，在这一领域确实取得进展。由于投入资金规模极大，这些努力正逐步对全球产业的平衡产生影响。

记者问及，在美国有一种观点认为中国必须持续依赖西方技术，但不能形成无限扩大的鸿沟。因为一旦差距过大，一个国家就会尝试自行建构完整的技术体系。

对此，福克强调，在 EUV 领域则不是如此，我们看不到他们（中国）已接近这一水准的任何证据；这更可能是10年的问题，而不是3年。不过，在其他技术门槛较低的领域，中国确实已取得一定成果。

至于ASML是否有针对中国打造国产EUV一事与主管机关进行讨论？福克证实，“讨论的层级很高，但我们不会点名。我们的角色是解释这项技术的运作方式：它（EUV）有多复杂，开发需要多少时间。”

中国传出突破技术门槛打造出EUV原型机，惨遭ASML打脸。（路透）