中国声称突破“EUV关键技术”

自由时报 2025-01-17 23:32+-

目前先进制程使用的是极紫外光微影(EUV)技术,荷兰的艾司摩尔(ASML)是行业巨擘,市场由ASML掌握,EUV曝光机更是先进制程必备神器。 

不过中国的哈尔滨工业大学(哈工大)近期宣布,成功研发出可提供13.5纳米极紫外光的技术,中国媒体认为,这部份解决了中国国产EUV曝光机制造中的光源问题,对于中国EUV光刻机曝光机的制造技术推进意义重大。

综合中国媒体报道,哈工大2024年年底发布新闻,指出该校航天学院赵永蓬教授的“放电等离子体极紫外光刻光源”,在黑龙江省高校与科研院所职工科技创新成果转化大赛中,获得一等奖。 而该计划介绍中提到,这项技术可提供中心波长为13.5纳米的极紫外光。

报道更称,哈工大这次突破的是光源技术波长是13.5纳米,采用粒子加速辐射取得EUV光源,与ASML采用美国光源技术,还需要德国莱卡的透镜技术,才能取得EUV不同,认为哈工大的技术就是一种技术创新突破。

不过报道也称,若要生产EUV曝光机,不仅需要先进的极紫外光源技术,还需要物镜系统、双晶圆平台和控制系统等关键技术。 而这4大技术组成了高端EUV曝光机的护城河,非常难超越和颠覆。

  • 最新评论
  • SSS_69

    @百年未有之大骗局 像你这种自轻自贱的败类肯定不知道,“澳大利亚战略政策研究所(ASPI)”2024年8月28日发布的各个国家先进技术研究竞争力排行榜。在64项关键技术(包括人工智能(AI)等可转用于军事的技术)中,中国在近9成(57项)技术上位居第一。EUV算什么?早晚白菜价。 你既然如此恨中,为什么坚持用中文呢?你不会连你盎撒爹的文字都不会吧?人家怎么认你这个逆子呢?连祖宗都能背叛,你盎撒爹会信你对它忠心耿耿??傻缺儿! 哈哈哈哈哈哈哈哈哈!

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  • SSS_69

    大殖子们又要破防了。哈哈哈哈哈哈哈哈哈!

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  • 百年未有之大骗局

    油变水20前就实现了,这算什么?

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