摩尔定律再续!ASML基本设计完成1nm光刻机
摩尔定律是什么?英特尔创始人之一戈登·摩尔根据经验得出一条“定律”,即集成电路上可以容纳的晶体管数目在大约每经过24个月便会增加一倍。换言之,处理器的性能每隔两年翻一倍。从这条“定律”我们能够一窥科技进步的速率,每一次工艺的升级都能为消费者带来更好的体验。
要进行光刻,就需要有设备,荷兰ASML是全球唯一的EUV光刻设备生产商。近日,ITF论坛在日本东京举办。论坛上,与ASML合作研发光刻机的比利时半导体研究机构IMEC公布了3nm及以下制程的在微缩层面技术细节。根据论坛上透露的信息,ASML对于3nm、2nm、1.5nm、1nm甚至Sub 1nm工艺都做了清晰的路线规划,这意味着未来1nm工艺的实际应用只是时间问题。
据台积电和三星电子介绍,“当前7nm、5nm部分工艺已经推出了NA(Numerical Aperture)=0.33的EUV光刻设备,并通过降低波长来实现5nm工艺,但对于2nm以后的超精细工艺,需要实现更高的分辨率和更高的光刻设备”。ASML已经完成了0.55NA曝光设备的基本设计,预计在2022年实现商业化,2024年到2025年大规模生产。摩尔定律终于续上了,1nm制程的芯片究竟会将功耗缩减到什么程度、又能带来多达幅度的性能提升呢?让我们拭目以待。