新技术翻车?三星3nm芯片工艺出状况
ZOL 2022-04-18 15:52+-
4月18日消息,据Digitimes,三星基于GAA晶体管的3nm工艺良率远低于预期,这或许意味着公司需要更多的时间才能投入量产。所谓GAA晶体管即环绕栅极晶体管,它取代的是FinFET(鳍式场效应晶体管),前者可以实现四边充当电流通道,二者则只有三边。
今年早些时候曾有报道称,半导体设备巨头Lam Research(泛林)向三星提供了用于3nm GAA芯片蚀刻相关的机器,三星希望在上半年完成全套工艺的质量验证。